AstroSorb-V là bộ lọc hóa học V-Bank được thiết kế để loại bỏ ô nhiễm phân tử trong không khí (AMC) trong các đơn vị không khí bổ sung (MAU), đơn vị không khí tuần hoàn (RAU) hoặc đơn vị điều hòa không khí ngoài trời (OAC). Có sẵn ở mọi kích thước tiêu chuẩn, AstroSorb-V sử dụng phương tiện lọc hóa học độc quyền để nhắm mục tiêu vào AMC cụ thể hoặc nhiều AMC trong phòng sạch sản xuất bán dẫn và vi điện tử.
Loại bỏ ô nhiễm phân tử trong không khí trong môi trường phòng sạch. Các loại khí mục tiêu: amoniac và amin, axit (HF, HCl, Cl 2 , NOx, SOx, H 2 S), VOC (toluen, PGME, PGMEA, siloxan), ozone và các loại khác
Khả năng hấp phụ cao và hiệu quả loại bỏ cao
Có sẵn bộ lọc đơn hoặc đa chất hấp thụ
Được chế tạo bằng vật liệu tương thích với phòng sạch, không phát ra tạp chất, kim loại, chất hữu cơ hoặc các chất gây ô nhiễm phân tử khác ở mức độ gây nguy hiểm cho các quy trình trong phòng sạch
Kết cấu không kim loại, không bị ăn mòn
Thiết kế mini-pleat tiết kiệm năng lượng
Đăng ký tài khoản
Đăng nhập tài khoản