Loại bỏ ô nhiễm phân tử trong không khí trong môi trường phòng sạch. Các loại khí mục tiêu: amoniac và amin, axit (HF, HCl, Cl 2 , NOx, SOx, H 2 S), VOC (toluen, PGME, PGMEA, siloxan), ozone và các loại khác
Khả năng hấp phụ cao và hiệu quả loại bỏ cao
Có sẵn bộ lọc đơn hoặc đa chất hấp thụ
Không tạo ra hạt và không có đặc tính thoát khí
Dễ dàng lắp đặt; thiết kế tấm phẳng cho FFU và môi trường nhỏ