Loại bỏ ô nhiễm phân tử trong không khí trong môi trường phòng sạch Các loại khí mục tiêu: amoniac và amin, axit (HF, HCl, Cl 2 , NOx, SOx, H 2 S), VOC (toluen, PGME, PGMEA, siloxan), ozone và các loại khác
Khả năng hấp phụ cao và hiệu quả loại bỏ cao
Có sẵn bộ lọc đơn hoặc đa chất hấp thụ
Được chế tạo bằng vật liệu tương thích với phòng sạch, không phát ra tạp chất, kim loại, chất hữu cơ hoặc các chất gây ô nhiễm phân tử khác ở mức độ gây nguy hiểm cho các quy trình trong phòng sạch